日前，江苏省工信厅公示2026年度“三首两新”拟认定名单，昆山高新区企业苏州尊恒半导体科技有限公司自主研发的垂直龙门显影机成功入选省级首台（套）重大技术装备。这是企业继首次获评之后，再度拿下这一重量级省级资质。

依据《江苏省新技术新产品认定管理办法（试行）》，省级首台（套）重大技术装备，指通过技术创新，在品种、规格、技术参数实现重大突破，整机性能、核心技术指标达到国内领先、国际先进，助力补齐产业链短板的装备产品。开展该项认定，意在激励企业原始创新，加速重大技术装备国产化，筑牢产业链供应链韧性与安全根基。

苏州尊恒半导体科技有限公司成立于2019年，深耕半导体湿法设备领域，主打面板级封装整线设备。企业可提供晶圆级封装（WLP）、2.5D封装、系统级封装（SiP）、倒装芯片封装、引线键合封装、大板级扇出封装（FOPLP）等多类先进整线湿法解决方案。产品覆盖汽车电子、人工智能、高性能计算、高密度存储、网络通信、智能终端、工业医疗、功率能源等多个热门应用领域。

本次入选的垂直龙门显影机为尊恒半导体自主研发的国内首创产品，具备完全自主知识产权。瞄准半导体先进封装、高端PCB制造赛道，成功填补国内大尺寸板级高精度显影设备技术空白。

该产品具备两大优点：一是工艺精度领先。集成“喷淋+摇摆”复合湿法工艺，配套变频循环系统与0.5μm高精度过滤模块，精准把控药液浓度、温度以及喷淋均匀度，充分满足显影、水洗等高要求湿法工艺；二是搬运效率突出。搭载伺服驱动垂直龙门搬运系统，运用绝对式定位技术，稳定适配510mm×515mm大尺寸板级产品，兼顾大尺寸加工、高精度与高稳定性生产多重需求。

下一步，昆山高新区将立足产业实际，紧盯关键核心技术堵点难点，强化政策引导和企业全生命周期服务，一方面支持企业加大研发投入，开展原始创新、技术攻关，聚力破解“卡脖子”难题；另一方面搭建首台（套）装备应用场景，打通创新装备研发到市场推广全链条，加快创新成果转化。同时，发挥龙头企业牵引作用，推动产业链协同发展，集聚创新资源、培育新质生产力，不断增强装备制造产业竞争力，为全区产业高质量发展持续注入澎湃动能。

（苏报融媒记者 金子华 通讯员 昆高轩/文）

来源：引力播

编辑：罗宇凡

审读：高原

审核：徐立明

阅读全文